Standardowe układy półprzewodnikowe oraz przetwarzanie MEMS (System Mikro-Elektro-Mechaniczny) zapewnia wysoce stabilne, dostrajalne rezystory
Precyzyjne systemy wymagają minimalnego wpływu różnic temperatury na zmiany uchybu oraz wzmocnienia. Niestety, rezystory wykorzystywane przy różnych napięciach lub technikach kalibracji prądu mają temperaturowy współczynnik rezystancji (TWR), który na ogół nie jest mierzony lub dostrajany. Tradycyjne sposoby dostrajania na poziomie płytki lub układu scalonego wykorzystują cienkowarstwowe dostrajanie laserem lub przedmuchiwanie stapialnych połączeń. Produkty hybrydowe lub na poziomie płytek wykorzystują – oprócz cienkowarstwowego dostrajania laserem – dodatkowe potencjometry dostrajające i układy cyfrowego dostrajania. Miniaturowy elektromechaniczny precyzyjny rezystor, bazujący na MEMS, zapewnia wysoce stabilne podejście do dostrajania bardzo dokładnych systemów.
Rejustor – mikro-rezystor firmy Microbridge Technologies składa się z mikro-membrany (lub mikro-membran) zawieszonej nad wnęką wytrawioną w krzemowym podłożu z elektrycznym mikro-grzejnikiem wytworzonym na powierzchni membrany, wykorzystującym przewodzącą, rozpraszającą ciepło warstwę polikrzemową. Zawieszenie mikro-grzejnika nad wnęką powietrzną zapewnia dobrą izolację termiczną dla mikro-struktury i umożliwia jednostce uzyskiwanie bardzo wysokich temperatur (od 800°C do 1000°C), przy bardzo niskim poborze mocy, bez wpływu na otaczające obwody. Bardzo niska bezwładność cieplna małej struktury, w połączeniu z izolacją, umożliwia szybkie nagrzewanie.
PARA REJUSTORÓW oraz ich oddzielne
wejścia strojenia mogą być zapakowane
do wielkoobjętościowej, 8-nóżkowej obudowy SOIC
WYTWORZONE POWYŻEJ Wytrawiona wnęka,
rezystory oraz polikrzemowe rezystywne elementy
grzejne zapewniają wysoce stabilny system, nieczuły
na temperaturę roboczą
Specjalnie opracowana technika sprzętowo-programowa zapewnia wysokiej precyzji elektryczne programowanie elementów rezystywnych w zawieszonej mikrostrukturze z dokładnością od 5 do 20 milionowych części, a nawet lepszą. Typowy przemysłowy test produkcyjny przeprowadza operację dostrajania Rejustora w sondzie płytki, ostateczny test po obudowaniu oraz/lub podczas testowania na poziomie płytki obwodów. Dostrajanie na poziomie systemu lub testowanie podczas produkcji wymaga specjalnie zaprojektowanego obwodu kalibracyjnego. Obie techniki pomijają drogi laserowy sprzęt dostrajający.
Przy użyciu w obwodzie kalibrującym Rejustora współczynnik TWR wynosi 0 ± 100 cząstek/milion/°K dla dostrojonych i niedostrojonych elementów, a zmiana współczynnika temperaturowego mieści się w tolerancji ± 30 cząstek/ milion/°K. Konstrukcja zapewnia stały TWR w zakresie dostrajania dla wartości rezystancji od około 200 do 1 M Ohma, z zakresem dostrajania 30% w dół od wartości fabrycznej. Elementy cechuje rozdzielczość regulacji do 0,01 procenta.
Kontakt:
Tim Warland, inżynier zastosowań, Microbridge Technologies
