Klienci wymagają coraz większej uniwersalności i funkcjonalności urządzeń elektronicznych. W odpowiedzi przemysł półprzewodnikowy dąży do zwiększenia liczby funkcji realizowanych przez istniejące układy scalone (kości). Nowa generacja p
rocesu technologicznego produkcji kości półprzewodnikowych jest oparta na fotolitografii z wykorzystaniem lasera argonowo-fluorowego (ArF). Zastosowanie laserów ArF zostało opóźnione przez brak wystarczająco czystych plastików, które mogłyby stanowić budulec pojemników ochronnych (na maski fotolitograficzne i siatki) używanych w procesie produkcji układów scalonych. Chcąc sprostać temu wyzwaniu i odpowiedzieć na potrzeby klientów, dział tworzyw technicznych LNP firmy SABIC Innovative Plastics opracował ultraczyste i przezroczyste (Ultra-Pure Transparent, UPT) tworzywa serii Stat-Loy 63000CT. Tworzywa UPT Stat-Loy stosowane w elementach zabezpieczających płytki półprzewodnikowe chronią przed uszkodzeniami spowodowanymi odgazowywaniem, które może doprowadzić do zanieczyszczenia płytek, zwiększenia liczby odrzutów i podniesienia kosztów.
Naprzeciw potrzebom klientów z przemysłu układów scalonych
Proces technologiczny układów scalonych wymaga spełnienia surowych kryteriów w pomieszczeniach czystych. Wraz ze zmniejszaniem wymiarów poszczególnych elementów coraz większego znaczenia nabierają zanieczyszczenia pochodzące z odgazowywania plastiku. Gdy organiczne substancje lotne lub wypłukiwane jony docierają do powierzchni płytki krzemowej, maski fotolitograficznej lub siatki, mogą uszkodzić urządzenie lub zakłócić jego funkcjonowanie. Korzystanie z mocniejszych laserów ArF oznacza jeszcze większe narażenie płytek i pojemników na uszkodzenia będące skutkiem odgazowywania.
Ultraniskie odgazowywanie podnosi wydajność produkcji układów scalonych
Aby zaoferować odpowiednie rozwiązania swoim klientom, firma SABIC Innovative Plastics poszerzyła obecną gamę produktów LNP Stat-Loy o tworzywa serii Stat-Loy 63000CT, które są ultra czyste, przezroczyste i trwale antystatyczne, a także charakteryzują się ultraniskim poziomem odgazowywania organicznych substancji lotnych i niskim poziomem wypłukiwanych jonów. Dla porównania, przezroczysty, antystatyczny metakrylan poli(metylowy) (PMMA) przejawia wysoki poziom odgazowywania, co prowadzi do tworzenia się mgiełki. Nieprzezroczyste, czarne tworzywa uniemożliwiają z kolei sprawdzanie numerów siatek i masek fotolitografi cznych z numerami opakowania bez otwierania pojemnika. Natomiast tworzywa UPT Stat-Loy 63000CT zapewniają niezwykłą klarowność, czystość i przewodność elektryczną.
Tworzywa UPT Stat-loy 63000CT są dostępne na całym świecie.
Więcej informacji na temat tworzyw LNP Stat-Loy można znaleźć na stronie internetowej firmy SABIC Innovative Plastics pod adresem www.sabic-ip.com
